作者:admin   發(fā)布時間:2019/3/19 14:09:48   瀏覽次數(shù):2535

檢測晶片的凹口位置及偏心位置

配備均勻區(qū)域光束的側視型光纖傳感器。

?能利用晶片的凹口及偏心造成的遮光量變化檢測出凹口與偏心的位置。 在11mm寬的檢測區(qū)域內，晶片產(chǎn)生的遮光量成正比。 檢測區(qū)域內通過特殊的光學部件形成均勻的區(qū)域光束。

應用要點

?以往，由于區(qū)域傳感器的光束不夠均勻，因此無法正確檢測出晶片的凹口及偏心。

優(yōu)勢/效果

?只要均勻的線性光束使用雙輸出式光纖放大器，就能同時檢測晶片的凹口及偏心。 【使用型號】 光纖單元：E32-T16J 數(shù)字光纖傳感器：E3X-DA-S